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純凈的SF₆氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF₆氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF₆氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。
　　在電弧作用下SF₆的分解物如SF₄，S₂F₂，SF₂，SOF₂，SO₂F₂，SOF₄和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF₆的工作場所，要加裝SF₆氣體泄漏監測設備。

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