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六氟化硫氣體具有優良的絕緣與滅弧性能，廣泛地應用在電子、電氣設備中，其典型的應用是在供電部門的輸變電所、電廠等的高壓開關柜內用作氣體絕緣。隨著六氟化硫電氣設備的迅速發展，越來越多的人接觸著六氟化硫氣體和電弧作用后的六氟化硫分解物。

六氟化硫氣體的毒性主要來自5個方面。

1、電器設備內的六氟化硫氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。

2、六氟化硫產品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。

3、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產物。

4、電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。

5、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。