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專業知識

半導體行業酸霧在線監測解決方案-深國安

行業背景:

目前我國半導體行業在迅速發展,雖然半導體廠給社會帶來的經濟效益及就業率有目共睹的,但隨之而來的還有對大氣的污染。由于半導體行業對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。半導體行業廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

預處理酸霧在線監測系統

半導體行業主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物)揮發造成對大氣環境的污染,以及整機裝配過程中產生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環境污染,這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。

預處理酸霧在線監測系統

半導體行業酸霧在線監測解決方案

SGA-900A系列預處理酸霧在線監測系統是深國安針對環境中固定污染源的酸霧廢氣進行實時在線監測的一種氣體檢測設備,產品集氣體采樣、氣體過濾、氣體干擾、流量控制、實時濃度顯示、無線數據上傳、環保聯網、本地聲光報警、設備聯動等功能為一體的標準化、模塊化、專業化揮發性氣體檢測儀系統集成產品。SGA-900A系列酸霧在線監測系統可全天候24小時對酸霧廢氣濃度等參數實時采集和精準檢測,達到超標排放快速預警預報,同時結合網格化管理,實現企業廢氣檢測與監管高效聯動。

預處理酸霧在線監測系統

SGA-900A系列預處理酸霧在線監測系統支持連無線HJ212協議數據上傳,可無縫對接當地環保監測平臺;因其卓越性能和良好表現,不僅可以作為企業內的有組織或無組織的氣體排放使用,還可以為環保監測等部門提供數據決策支持。SGA-900A系列預處理酸霧在線監測系統廣泛應用于半導體制造、涂裝流水線、生物制藥、化工企業廢氣處理等。

預處理酸霧在線監測系統

SGA-900A系列預處理酸霧在線監測系統可以同時監測非甲烷總烴、砷烷、酸霧、硫化物、NOX、粉塵顆粒物、氨氣等10個氣體指標在內,并且還可以搭配工廠中的風機、閥門、噴淋系統等設備來使用,通過內部開關量信號實現聯動。氣體超標即時報警,同時啟動/關閉聯動設備;此外,其監測數據還可以通過專用配套軟件實時接收,并且可以實現多路統一管理以及數量的無限擴充。存儲的數據還可以任意選取時間段進行查詢,曲線顯示,數據EXCEL導出等,使得監測數據一目了然。


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